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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），特種氣體廠商，100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，特種氣體價格是多少，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

特種氣體的作用：

1、反應(yīng)及中和介質(zhì)，在精細化工、生物醫(yī)1療中用于反應(yīng)、保護等。

2、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1療殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮氣、激光混合氣等用于醫(yī)1療設(shè)備。

4、綜合手段與介質(zhì)，應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護、核反應(yīng)堆的保護、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理，蘭州特種氣體，完成被檢件的氦走漏量丈量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，走漏出來的氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。

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